Til hovedinnhold
Norli Bokhandel

Extreme Ultraviolet Lithography

2026, Heftet, Engelsk

789,-

Forhåndsbestilling – forventes i salg 31.03.2026
  • Gratis frakt på ordre fra 299,-
  • Bytt i 200 butikker
  • Ikke tilgjengelig for hent i butikk
Discover refined techniques in EUV lithography with updates detailing exposure tools, light sources, masks, resists, metrology, and computational lithography. Addressing cost and process control, the work offers practical insights from a seasoned lithographer operating in manufacturing and development.

Produktegenskaper

  • Forfatter

  • Bidragsyter

    Levinson, Harry J. (Forfatter)
  • Forlag/utgiver

    SPIE Press
  • Format

    Heftet
  • Språk

    Engelsk
  • Utgivelsesår

    2026
  • Antall sider

    344
  • Serienavn

    Press Monographs
  • Varenummer

    9781510692534

Kundeanmeldelser

Frakt og levering